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發(fā)布日期：2013-01-05　　　 文字大小：大中小

該機(jī)構(gòu)三大部分：下基座微調(diào)臺(tái)、上基座微調(diào)臺(tái)和CCD調(diào)整機(jī)構(gòu)。

其中下基座微調(diào)臺(tái)機(jī)構(gòu)包括：±2mm x軸微動(dòng)臺(tái)，±2mm y軸微動(dòng)臺(tái)，±5°繞z軸轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)；

上基座包括：0~50mm、帶數(shù)顯光柵尺(長(zhǎng)度分辨率為1μm)的 z軸微動(dòng)臺(tái)；

CCD調(diào)整機(jī)構(gòu)包括兩套獨(dú)立的三軸調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)±10mm的z軸位移、±10μm的x 軸位移，±10μm的y軸位移。

設(shè)備技術(shù)參數(shù)：

序號(hào)	名稱(chēng)	產(chǎn)品規(guī)格
1	X軸微動(dòng)臺(tái)	±2mm
2	Y軸微動(dòng)工作臺(tái)	±2mm
3	z軸微動(dòng)工作臺(tái)	整體量程：0-50mm，在0~3mm范圍內(nèi)能夠?qū)崿F(xiàn)局部微調(diào)，分辨率為1μm
4	thet軸微動(dòng)工作臺(tái)	±5°
5	上基座支撐板	246×132×100(10mm厚）
6	下基座支撐板	304×308×15
7	CCD支撐板	z軸向微調(diào)：±10mm
8		x軸向微調(diào)：±10mm
9		y軸向微調(diào)：±10mm
10	支撐立柱	Φ20×280mm
11	支撐底板	480×700×10
12	數(shù)顯光柵尺	JCXE1-100（精度：1μm行程：100mm）

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