隔振平臺的結構特點
大家都知道的是振動其實是一種能量,它以振動波的形式傳遞的,具有一定的頻率。隔振平臺在運行時也有一個頻段,當這兩個頻段重合時,我們稱之為振動和不穩(wěn)定性。通常的振動信號頻率進行一般來說都是一個高頻,可在50-100HZ的范圍內(nèi),而細微隔振就是我們通過隔振裝置能夠達到衰減、吸收客觀的環(huán)境下的振動的能量,降低振動的頻率,能夠將它的頻率降低到10HZ以下,非常好的隔振可以降低到5HZ。
隔振平臺的設計目的是將超精密儀器與來自建筑物地板的頻率低于1Hz的振動隔離開來。在理想狀態(tài)下這個儀器可以應用到光學電子顯微鏡、掃描探針顯微鏡(SPM)及計量分析儀器的領域中去。主動的隔振功能的系統(tǒng),可以很容易地選擇和設置三個增益中的一個,以實現(xiàn)適合當前環(huán)境的性能。
隔振平臺發(fā)展主要問題還是包含了這五個組成一個部分:隔振臺面、減振單元、支撐腿、安全生產(chǎn)裝置、可調(diào)設備地腳。核心部件是減振裝置和工作臺。
隔振平臺的工作就是臺面按材質(zhì)進行大體分兩大類:大理石作為臺面和不銹鋼操作臺面。00級工作面一般采用大理石臺面,不銹鋼臺面的水平誤差不大于0.02mm,均以確保設備水平的技術要求為依據(jù)。
隔振平臺的減振單元設計主要通過使用氣浮減振器(空氣質(zhì)量彈簧作用減振器)。