型號

02TM522(L)

調(diào)整維數(shù)

五維

驅(qū)動(dòng)方式

測微頭、微調(diào)螺紋副

驅(qū)動(dòng)位置

中心

導(dǎo)軌

線性導(dǎo)軌+滾柱

三維平移行程

13mm

旋轉(zhuǎn)和俯仰范圍

±5°

刻度

0.01mm

精度

0.001mm

直線度

0.003mm（單軸）

擺動(dòng)誤差

<20″

自重

2.1kg

負(fù)載

25kg