06FC201
光纖調(diào)整
Tx
6mm
分辨率0.001mm
Ty
±2mm
分辨率0.0005mm
Tz
θy
±4°
分辨率5″
θz
顯微物鏡調(diào)整
13mm
整體傾斜調(diào)整
θ